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SQM/-160 薄膜沉积监控器

更新:2014/3/11 11:42:27      点击:
  • 品牌   INFICON
  • 型号   SQM/-160
  • 描述

    ...

产品介绍

功能

  • 两个标准测量通道,另外四个可选
  • 模拟输出便于记录速率/厚度
  • 高精度选项:0.03Hz,每秒 10 个读数
  • RS-232 标准接口,可选择连接 USB 或以太网

规格

类型 SQM-160 Standard Resolution
QCM 传感器输入
Standard: 2; optional: 4
频率分辨率
Standard: ± 0.12 Hz at 4 readings/sec
频率稳定性
± 2 ppm total, over 0º to 50ºC
可选测量周期
0.10 to 2 sec (in .05 sec increments)
测量过滤器
1 to 20 readings
存储薄膜
99
模拟输出
Two 0 to 5 VDC, rate & thickness
数字输入/输出
Two inputs, four relay outputs
数字接口

Standard: RS-232;

Optional: USB or Ethernet

功率
100-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 合规性

Class 1 equipment,

73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD

壳体/安装

1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,

89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")

重量
2.7 Kg (6 lbs)
Windows 软件(集成)

Provides remote setup and operation,

datalogging functions - see sample

screenshot at right.

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