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溅射阴极
更新：2015/1/24 16:08:12 点击：
- 品牌 Angstrom Sciences
- 型号
- 描述
根据使用需求，选型定做 为你提供更适合更完美的阴极及靶材...
产品介绍
美国Angstrom Sciences公司 溅射阴极及靶材美国安斯超科学公司(Angstrom Sciences，Inc)成立于1988年,，是一家
专业从事物理气相沉积磁控溅射阴极及溅射靶材的高科技专业公司，专利
的磁场设计和独特的水冷技术使其产品倍受欢迎。安斯超公司对磁控溅射
靶阴极的磁体外形和冷却循环结构进行了科学合理地优化设计，并且选取
更强的磁体（比稀土磁体强30％），从而使安斯超的靶阴极比常规的靶阴
极具有更为卓越的性能。
核心专利技术及特点：
特殊设计的磁体结构，使得磁场线跨度范围更宽，从而提高靶材的利用率和膜层的均匀性 湍流冷却技术，使得水流能够更平缓的进入阴极，从而提高冷却效果
特殊设计的耙材固定结构，使得耙材更换起来更简单，降低停工期 超强的磁体材料 NdFeB，他的强度比其他的稀土磁体要强30%
极高的靶材利用率，最高可以达到50%，从而降低靶材成本 极好的产品均匀性，最高可以达到±3%
可以在更低的真空以及更高的功率下运行：最低压力可以达到10-4TOR 直接水冷结构可以提高其功率密度达到250Watt s/in2
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