INFICON CrystalSix六探头是长过程中连续速率控制的关键设备。

无论是 OLED，MBE，太阳能，长过程光学镀膜，或在两次放空

之间有一个长的时间周期的其它过程，CrystalSix六探头提供6片

石英监测晶体在一个六探头探头内的可靠性。当使用INFICON薄

膜控制仪, 一旦晶体损坏或变得不稳定时。CrystalSix自动将新的

晶体旋转到位。晶体被自动更换,不影响过程的连续沉积速率监测

规格 特性

CrystalSix六探头由气动机构自动完成晶体的标引. 与采用昂贵的

在真空中发热的电动马达的竞争性仪器相比， 这个气动的驱动马

达提供更好的晶体热稳定性。1 / 8 " 冷却水管可保持六探头的热 

稳定性和六探头布局的灵活性。 
与 INFICON  薄膜控制仪一起使用时，六探头提供位置反馈，从 

而可使用特定材料于特定的位置。

优点 
 
■   六探头内 6 片晶体有坚固耐用,  过程运行时间自动转换最大化的功能 
 
■  稳定的晶体温度是由于晶体的气动转换  ( 竞争性仪器使用发热的马达)  

■  1/ 8 "  冷却水管可保持热稳定性和六探头布局的灵活性 
 
■  供应可选的光学晶体挡板