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精密光学镀膜设备

更新:2015-8-19 8:49:43      点击:
  • 品牌   深圳天星达
  • 型号   TSV1300
  • 描述

    产地:深圳龙岗区(TSV1300精密光学镀膜设备)...

产品介绍

应用范围:

该设备采用 e 型电子枪蒸发源,可蒸发各种高熔点金属和氧化物 ,可在玻璃,塑料,陶瓷基体上镀制各种多层薄,:红外膜、宽带增透膜、分光膜、冷光膜、IR-CUT膜、干截止滤光片、偏振膜、电学膜, 适用于眼镜、光学镜头、精密光学元件、激光和电子行业的大规模工业生产.


主要特点:

l        电子枪输出功率稳定,特殊结构设计有效杜绝二次电子的产生和电子枪打火。

l        转动采用磁流体引入,长期运转密封可靠。

l        工件转动座多重水冷和重力导向设计,运转平稳可靠,径向和轴向跳动3-5mm

l        采用PLC+触摸屏控制, 多重泵阀水电互锁互保护,可全程自动控制,包括真空系统,烘烤系统,整个蒸发镀膜过程。

l        安装采用全程四极质谱监控和氦质谱检漏, 真空密封性好, 设备工艺稳定可靠。

l        所有零部件采用国内知名厂家, 电器元件采用进口或合资企业产品, 设备24小时连续长期运行可靠稳定。


基本参数:

1.      立式前开门结构,不锈钢真空室Φ1300X1500mm

2.      极限真空:1×10-4Pa(空载清洁真空系统,300°烘烤后)。

3.      恢复真空时间:大气至4×10-3Pa15min

4.      大抽速主泵,KT-630型扩散泵(18000L/s)两台,配备防湍流装置。

5.      工件转动:采用磁流体密封转动装置,转动座多重水冷和重力导向设计,运转平稳可靠。

6.      工件烘烤:桶状上烘烤,三点控温,最高烘烤温度350°。

7.      永磁E型电子枪,枪功率10KW/支;可配置单枪或双枪,多穴坩埚和环形坩埚。

8.      配备美国Inficon公司生产的SQC310C IC6型石英晶体膜厚控制仪。

9.      10英寸触摸屏和欧姆龙(PLC)编程控制器,对设备真空系统、蒸发源系统、烘烤系统、工件转动系统、膜厚监控系统等进行监测和控制,可采用自动和手动两种模式。

10.  可选配Φ16CM的离子源或深冷低温冷阱。

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