 在线原位分析真空环境及工艺气体

 优化工艺过程参数，提高镀膜产品质量

 对真空系统检漏

 减少停机时间，提高流片量

 价格低廉，极为优异的性价比

溅射工艺在线质谱分析仪
SPM-MC溅射工艺在线质谱分析仪是专为镀膜生产等工业应用开发在线溅射工艺四极质谱分析仪。分析室采用超高真空金属密封和无油超高真空分子泵抽气系统，真空系统控制采用单按钮式，全量程自动监测并开启四极质谱。取样系统采用不锈钢波纹管及手动阀门，直接接入工艺真空室采样。分析器采用抗氧化敷钍铱丝双灯丝和法拉第接收杯四极质谱，通过RS232接入笔记本电脑，由专用的控制软件分析，完成对溅射工艺真空室的分压测量和成份分析:扫描全谱，趋势分析，检漏等。

规格：
测量气体范围
XT100（M）             1到100 amu
XT200（M）             1到200 amu
XT300（M）             1到300 amu

检测类型                    法拉第杯（FC）或电子倍增器（EM）
灵敏度（A/mbar）   5×10-4torr，法拉第杯，氮28, 10%峰高
分辨率                       1 amu ，10%峰高
最小可检分压强         10-11  torr或10-14 torr（电子倍增   
                                  器），氮28，10%峰高
工作范围                    10-4  torr到超高真空
工作环境最高温度      40°C
烘烤温度                    300°C（不包括CCU）
通讯端口                    RS-232C，115,200 Baud
软件运行环境             Windows® 2000或XP