优点

• 拥有成本更低，预热速度快 50%，节能，低功耗
• 易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点
• 轻松一键调零或远程信号调零指令，可调零点偏移
• 诊断端口用于快速维修和维护
• 两年保修服务，先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命
• 卓越的信号稳定性和可重复性，即使是最苛刻的等离子应用，都无需长期执行重新校准
• 合规性与标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型应用

• 用于刻蚀、CVD、PVD 和其他半导体制造过程
• 化学及腐蚀真空过程
• 一般薄膜和真空过程
• 基准传感器用于监控测试仪器是否符合国际标准
• 符合传递标准，确保测量可追溯性

新闻

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