优点

• 全刻度范围从 100 毫托 … 1000 托
• 电源接通后快速稳定
• 暴露于大气压后快速恢复
• 防腐陶瓷传感器
• 卓越的长期信号稳定性
• 温度补偿
• 传感器防污染保护
• 一键调零功能
• 电源范围广

典型应用

• 用于刻蚀、CVD、PVD、ALD 的半导体生产设备
• 数据存储和显示制造设备
• 工业真空设备
• 常规高精度压力测量