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AE质量流量控制器
- 品牌 Aera
- 型号 7700 7800
- 描述
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美国AE公司 质量流量计（FC-7700系列）
优点：高性价比
响应速度快：小于2秒
无与伦比的可靠性：使用一年以上，零点漂移小于满量程的0.5%
易于集成：标准接头和尺寸
出众的效果：高品质膜层与蚀刻特性
特性
非金属密封
VCR连接
量程范围从10SCCM到150SLM
常闭或常开式电磁阀
允许最大清洗流量：高达最大校准值的100倍
漏率1×10-6 atm-cc/秒(氦)
型号参数：
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类别 |
FC-7700、7700C、7700CD、7700CU |
FC-7710、7710C、7710CD、7710CU |
FC-7720、7720C、7720CD |
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满量程范围 |
10sccm到5slm |
6到20slm |
35到150slm |
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20到50slm |
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响应时间 |
到达设定点±2%所需时间<2秒 |
到达设定点±2%所需时间<3秒 |
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精度 |
满量程±1%范围内 |
满量程±2%范围内 |
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线性度 |
满量程±0.5%范围内 |
满量程±0.5%范围内 |
满量程±1%范围内 |
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满量程±1%范围内 |
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重复精度 |
满量程±0.2%范围内 |
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漏率 |
最大值1×10-6 atm-cc/秒(氦) |
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控制范围 |
满量程的5到100% |
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压差 |
7至40 psi |
10至40 psi(517至2069托) |
21至40 psi(1086至2069托) |
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(362至2069托) |
14至40 psi(724至2069托) |
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正常工作压力 |
50 psi(2586托) |
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最大入口压力 |
最大值150 psi(7740托) |
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温度范围 |
5至45℃ |
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注：可根据不同客户的需求，选择全金属密封的FC-7800CD系列，数字型的FC-D770系列，全金属密封及数字型的FC-D980系列。
