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AE质量流量控制器

更新:2014-3-14 16:39:27      点击:
  • 品牌   Aera
  • 型号   7700 7800
  • 描述

    ...

产品介绍

美国AE公司 质量流量计(FC-7700系列)

优点:高性价比

响应速度快:小于2

无与伦比的可靠性:使用一年以上,零点漂移小于满量程的0.5%

易于集成:标准接头和尺寸

出众的效果:高品质膜层与蚀刻特性

 

特性

非金属密封

VCR连接

量程范围从10SCCM150SLM

常闭或常开式电磁阀

允许最大清洗流量:高达最大校准值的100

漏率1×10-6 atm-cc/()

 

型号参数:

类别

FC-77007700C7700CD7700CU

FC-77107710C7710CD7710CU

FC-77207720C7720CD

满量程范围

10sccm5slm

620slm

35150slm

2050slm

响应时间

到达设定点±2%所需时间<2

到达设定点±2%所需时间<3

精度

满量程±1%范围内

满量程±2%范围内

线性度

满量程±0.5%范围内

满量程±0.5%范围内

满量程±1%范围内

满量程±1%范围内

重复精度

满量程±0.2%范围内

漏率

最大值1×10-6 atm-cc/()

控制范围

满量程的5100%

压差

740 psi

1040 psi(5172069)

2140 psi(10862069)

(3622069)

1440 psi(7242069)

正常工作压力

50 psi(2586)

最大入口压力

最大值150 psi(7740)

温度范围

545

 

注:可根据不同客户的需求,选择全金属密封的FC-7800CD系列,数字型的FC-D770系列,全金属密封及数字型的FC-D980系列。


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