优点

• HPG400 可节省成本和工具空间，降低真空系统安装与设置的复杂性
• 高压热电离真空计可以准确可靠地测量 1×10^-5 … 1 毫巴范围内的压力，进而改善过程控制
• 用户可选的热离子发射在 5×10^-2 至 1 毫巴之间启动
• 皮拉尼联锁保护热丝，防止过早烧毁
• 备有可选的图形显示屏和现场总线接口
• 高真空皮拉尼自动调节，减少操作员干预
• RoHS 合规

典型应用

• 半导体制造、电子和媒介产业中的溅射应用
• 工业镀膜
• 低真空和高真空范围内的一般真空测量和控制