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IC6 薄膜沉积控制器
更新：2014/2/26 16:30:58 点击：
- 品牌 INFICON
- 型号 IC6
- 描述
功能丰富的 IC6 提供提供最佳测量精度...
产品介绍
规格
| 类型 | IC6 | |
|---|---|---|
| 测量性能 | ||
| 分辨率 (1) |
|
0.00433 Å/s/M |
| 最大晶体频率偏移 |
|
1.5 MHz |
| 晶体范围和精确性（来自 100-ms 样品） |
|
6.0 to 4.5 MHz +/- 0.0035 Hz |
| 厚度精度 (2) |
|
0.5% |
| 测量频率 |
|
10 Hz |
| 多个测量值平均 |
|
0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed |
| 设计功能 | ||
| Auto Z |
|
yes |
| 自动色调 |
|
yes |
| 共沉积 |
|
yes (up to 6 sources) |
| 过程配方和数据管理 | ||
| 材料计划 |
|
32 |
| 过程层（每个过程） |
|
200 |
| 过程 |
|
50 (processes can be linked together) |
| USB 存储器 |
|
yes |
| 数据记录 |
|
yes |
| 硬件功能 | ||
| 传感器 (3) |
|
|
| 单 |
|
8 |
| 双 / CrystalTwo® |
|
4 / 8 (with CrystalTwo® Switch) |
| CrystalSix® |
|
8 |
| Crystal 12® |
|
8 |
| 通用 |
|
8 |
| 来源控制 |
|
|
| 来源数量 (4) |
|
up to 6 |
| 来源控制电压 |
|
0 to +/-10 V, adjustable |
| 输出分辨率 |
|
15 bits over full range (0 to 10V) |
| 坩埚位置 |
|
64 |
| 输入 / 输出 |
|
|
| 输入 |
|
14 standard, up to 28 optional; TTL/CMOS logic compatible or closure to ground |
| 输出 |
|
8 standard, up to 24 optional programmable SPST relays rated at 30 V(dc) or 30 V(ac) RMS or 42 V peak @ 2.5 amps; 14 optional TTL outputs |
| 记录器输出 (4) |
|
0 to +10 V, adjustable |
| 逻辑语句 |
|
100 fully programmable; up to 5 actions, 5 events per statement |
| 通信 |
|
|
| 标准 |
|
RS232 |
| 可选 |
|
Ethernet |
| 显示器 | ||
| 厚度分辨率 |
|
1 Å for 0 to 9.999 kÅ 10 Å for 10.00 to 99.99 kÅ 100 Å for 100.0 to 999.9 kÅ 1 kÅ for 1000 to 9999 kÅ |
| 速率分辨率 |
|
0.001 for 0 to 9.999 Å/s if rate filter time setting is 10 seconds or greater 0.01 for 0 to 99.99 Å/s 0.1 for 100 to 999.9 Å/s |
| 操作 | ||
| 电源要求 |
|
100 – 230 V (ac) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz |
| 工作温度 |
|
0 to 50 C (32 to 122 F) |
| 尺寸，不包括安装件（高 x 宽 x 深） |
|
5.25” x 19” x 13” (133mm x 483mm x 330 mm) |
| 重量 |
|
23 lbs (10.5 kg) |
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