优点

• 复合真空计 – 倒置磁控管与皮拉尼
• 测量范围广，从 5 x 10^-9 毫巴到大气压
• 不会出现单丝烧毁的现象
• 卓越的点火属性
• 易于清洁
• FPM 或金属密封馈入装置
• 高压 LED 指示灯
• 对数模拟输出信号

典型应用

• 高真空压力监控
• 蒸发系统和溅射系统的基本压力
• 中高真空范围内的一般真空测量和控制